Oxidation furnace(산화로) 웨이퍼 산화장치)
- 위치신의관 101호, 102호
Spin coater (웨이퍼산화막코팅기)
- 위치신의관 101호, 102호
Mask aligner 노광기 포토레지스터 장치
- 위치신의관 101호, 102호
Spin developer 노광현상기 Photo Lithography
- 위치신의관 101호, 102호
RIE etcher 식각기 반응 이온 식각 장비
- 위치신의관 101호 , 102호
Sputter PVD 증착기
- 위치신의관 101호, 102호
Wet station 반도체 세정장치
- 위치신의관 101호, 102호
Fume hood 흄 후드
- 위치신의관 101호, 102호